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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第539位 67件
(2010年:第2457位 9件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第817位 34件
(2010年:第22882位 0件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2011-503654 | 紫外線反射光学素子、紫外線反射光学素子を作製する方法、および紫外線反射光学素子を備える投影露光装置 | 2011年 1月27日 | |
特表 2011-502275 | 結像光学系及び投影露光装置 | 2011年 1月20日 | |
特表 2011-502347 | 結像光学系及びこれを有する投影露光装置 | 2011年 1月20日 | |
特開 2011-13681 | 瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法 | 2011年 1月20日 | |
特開 2011-13687 | 光学要素とマウントからなるアセンブリ | 2011年 1月20日 | |
特表 2011-501446 | 結像光学系、この種の結像光学系を含むマイクロリソグラフィのための投影露光装置、及びこの種の投影露光装置を用いて微細構造構成要素を生成する方法 | 2011年 1月 6日 | |
特表 2011-501448 | 結像光学系及びこの種の結像光学系を含むマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 | 2011年 1月 6日 |
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2011-503654 2011-502275 2011-502347 2011-13681 2011-13687 2011-501446 2011-501448
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2月22日(土) - 東京 板橋区
2月22日(土) - 東京 板橋区
2月25日(火) -
2月25日(火) -
2月26日(水) -
2月26日(水) -
2月26日(水) - 東京 港区
2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
2月27日(木) -
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
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