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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2012-74697	ＥＵＶコレクタ	2012年 4月12日
特開 2012-69925	ＵＶ又はＥＵＶリソグラフィ用の光学素子	2012年 4月 5日
特開 2012-60178	投影露光系、このような投影露光系の補助により微細構造の構成部材を製造する方法、このような系において使用するために適応させた偏光光学素子	2012年 3月22日
特開 2012-60155	マイクロリソグラフィのための投影対物器械、その投影対物器械を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置、構成要素のためのマイクロリソグラフィ製造方法、並びにその方法を用いて製造される構成要素	2012年 3月22日
特開 2012-60190	光源の変動を測定するためのシステムを備えたＥＵＶ照明システム	2012年 3月22日
特表 2012-507160	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の照明光学系	2012年 3月22日
特表 2012-506135	放射線ビームを案内するための光学モジュール	2012年 3月 8日
特開 2012-48251	ハウジング構造体	2012年 3月 8日
特表 2012-506134	ＥＵＶリソグラフィ装置及び光学素子を処理する方法	2012年 3月 8日
特開 2012-42967	投影光学系	2012年 3月 1日
特表 2012-505533	マイクロミラーを駆動する方法及びデバイス	2012年 3月 1日
特表 2012-504330	光学素子のための支持要素	2012年 2月16日
特表 2012-504321	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の投影露光装置の照明光学系に使用するための視野ファセットミラー	2012年 2月16日
特表 2012-504329	半導体部品を製造するためのマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2012年 2月16日
特表 2012-504324	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2012年 2月16日

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2012-74697 2012-69925 2012-60178 2012-60155 2012-60190 2012-507160 2012-506135 2012-48251 2012-506134 2012-42967 2012-505533 2012-504330 2012-504321 2012-504329 2012-504324

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