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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特表 2013-513961	ＥＵＶリソグラフィ用反射光学素子	2013年 4月22日
特開 2013-74299	マイクロリソグラフィ投影露光装置	2013年 4月22日
特開 2013-70087	液浸リソグラフィー用投影対物レンズ	2013年 4月18日
特開 2013-65857	マイクロリソグラフィ投影露光装置	2013年 4月11日
特開 2013-65051	入射瞳のバック・フォーカスが負である投影対物系および投影露光装置	2013年 4月11日
特表 2013-511141	結像光学系	2013年 3月28日
特開 2013-58801	リソグラフィ投影対物器械を修正／修理する方法	2013年 3月28日
特開 2013-50722	光学素子	2013年 3月14日
特開 2013-51424	光学結像装置	2013年 3月14日
特表 2013-509603	反射光学構成要素と測定デバイスとを含む反射屈折投影対物系	2013年 3月14日
特開 2013-48289	光源の変動を測定するためのシステムを備えたＥＵＶ照明システム	2013年 3月 7日
特開 2013-47836	光学モジュール	2013年 3月 7日
特開 2013-42147	半導体リソグラフィー用のミラーアレンジメントを製造する方法、及び、電磁放射線の反射用のミラーアレンジメント	2013年 2月28日
特開 2013-42155	反射屈折投影対物系	2013年 2月28日
特表 2013-506978	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体	2013年 2月28日

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2013-513961 2013-74299 2013-70087 2013-65857 2013-65051 2013-511141 2013-58801 2013-50722 2013-51424 2013-509603 2013-48289 2013-47836 2013-42147 2013-42155 2013-506978

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