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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第437位 89件
(2011年:第539位 67件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第478位 72件
(2011年:第817位 34件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5105743 | 浸漬リソグラフィー用屈折性投影対物レンズ | 2012年12月26日 | |
特許 5106692 | 投影リソグラフィのための照明光学ユニット | 2012年12月26日 | |
特許 5106858 | 高開口数と平面状端面とを有する投影対物レンズ | 2012年12月26日 | |
特許 5106099 | 投影対物レンズ、マイクロリソグラフィのための投影露光装置及び反射レチクル | 2012年12月26日 | |
特許 5107456 | 偏光アクチュエータ | 2012年12月26日 | |
特許 5107486 | 少なくとも1つのシステム絞りを有する光学結像装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5102539 | 対象物表面の所定の照明領域をEUV照射によって照らすための照明システム | 2012年12月19日 | |
特許 5099793 | 光学面から汚染層を除去するための方法、洗浄ガスを生成するための方法、ならびに対応する洗浄および洗浄ガス生成の構造 | 2012年12月19日 | 共同出願 |
特許 5102492 | 結晶素子を有するマイクロリソグラフィー投影用対物レンズ | 2012年12月19日 | |
特許 5096530 | ゼロ転移温度周辺の熱膨張係数に応じて温度の上昇に対する傾きの符号が異なる材料で構成されたミラーを備えたEUV投影レンズ | 2012年12月12日 | |
特許 5094836 | マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5097119 | マイクロリソグラフィ投影露光装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5091128 | マイクロリソグラフィ用の投影レンズおよびそのための端部素子 | 2012年12月 5日 | |
特許 5084739 | 投影照射システム | 2012年11月28日 | |
特許 5077724 | マイクロリソグラフィツール用の反射照明システム | 2012年11月21日 |
72 件中 1-15 件を表示
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5105743 5106692 5106858 5106099 5107456 5107486 5102539 5099793 5102492 5096530 5094836 5097119 5091128 5084739 5077724
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