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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5369319	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2013年12月18日
特許 5366405	遮光瞳を有する高開口率対物光学系	2013年12月11日
特許 5364192	対象物表面の所定の照明領域をＥＵＶ照射によって照らすための照明システム	2013年12月11日
特許 5364756	粒子光学装置	2013年12月11日	共同出願
特許 5366970	マイクロリソグラフィ投影露光装置	2013年12月11日
特許 5355699	放射線ビームを案内するための光学モジュール	2013年11月27日
特許 5345132	マイクロリソグラフィ露光装置においてマスクを照明するための照明系	2013年11月20日
特許 5349697	反射光学素子及びＥＵＶリソグラフィ装置を作動させる方法	2013年11月20日
特許 5337304	マイクロリソグラフィ投影露光装置及びそこに収容される光学面に関連するパラメータを測定する方法	2013年11月 6日
特許 5337292	光源の変動を測定するためのシステムを備えたＥＵＶ照明システム	2013年11月 6日
特許 5337714	ＥＵＶ投影露光装置	2013年11月 6日
特許 5335906	マイクロリソグラフィ用の照明光学ユニット	2013年11月 6日
特許 5337159	結像光学系及びこれを有する投影露光装置	2013年11月 6日
特許 5329520	低角度で入射する補正光を用いる補正光学素子	2013年10月30日
特許 5325301	マイクロミラーを駆動する方法及びデバイス	2013年10月23日

78 件中 1-15 件を表示

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5369319 5366405 5364192 5364756 5366970 5355699 5345132 5349697 5337304 5337292 5337714 5335906 5337159 5329520 5325301

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