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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第383位 96件 上昇2013年:第430位 93件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第284位 137件 上昇2013年:第457位 78件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5620039 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 2014年11月 5日
特許 5616601 光学装置用の接続装置 2014年10月29日
特許 5616983 マスク検査装置の照明系及び投影対物系 2014年10月29日
特許 5616789 色補正された反射屈折対物系及びそれを含む投影露光装置 2014年10月29日
特許 5615855 光学アセンブリ 2014年10月29日 共同出願
特許 5612595 投影露光装置内の光学素子のための重力補償器 2014年10月22日
特許 5611443 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2014年10月22日
特許 5608233 光学ビーム偏向要素及び調節方法 2014年10月15日
特許 5605990 結像誤差の判断を備えた光学結像装置 2014年10月15日 共同出願
特許 5602233 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体 2014年10月 8日
特許 5603868 EUVマイクロリソグラフィ用の投影露光装置の照明光学系に使用するための視野ファセットミラー 2014年10月 8日
特許 5601694 反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物レンズ 2014年10月 8日
特許 5600680 結像光学系 2014年10月 1日
特許 5597246 結像光学系及びこの種の結像光学系を備えたマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 2014年10月 1日
特許 5599606 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム 2014年10月 1日

137 件中 16-30 件を表示

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5620039 5616601 5616983 5616789 5615855 5612595 5611443 5608233 5605990 5602233 5603868 5601694 5600680 5597246 5599606

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