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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5036311	ミラーＭ３の前にレンズを伴う複数のミラーを含む投影対物レンズ	2012年 9月26日
特許 5026788	マイクロリソグラフィの照明システム	2012年 9月19日
特許 5030944	マイクロリソグラフィ露光装置のための照明システム	2012年 9月19日
特許 5021876	光源からの放射線のための収束装置と照明システム	2012年 9月12日
特許 5022912	少なくとも１つの交換可能な光学素子を備えるレンズモジュール	2012年 9月12日
特許 5022914	光学アセンブリ	2012年 9月12日
特許 5023064	露光工程のための光学要素ユニット	2012年 9月12日
特許 5017494	制振装置	2012年 9月 5日
特許 5021031	マイクロリソグラフィ投影露光装置のための照明システム	2012年 9月 5日
特許 5021207	フォトリソグラフィにおける光学アセンブリ	2012年 9月 5日	共同出願
特許 5020684	ズーム対物光学系を備えた照明システム	2012年 9月 5日
特許 5020254	オブジェクティブ、具体的には、半導体リソグラフィ用の投影オブジェクティブ	2012年 9月 5日
特許 5014498	投影照明システムの光学装置用の位置合わせ方法	2012年 8月29日
特許 5010047	洗浄モジュール，ＥＵＶリソグラフィ装置及びそれらの洗浄方法	2012年 8月29日
特許 5010755	マイクロリソグラフィー用光学素子の粒子洗浄	2012年 8月29日	共同出願

72 件中 31-45 件を表示

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5036311 5026788 5030944 5021876 5022912 5022914 5023064 5017494 5021031 5021207 5020684 5020254 5014498 5010047 5010755

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