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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第383位 96件 (2013年:第430位 93件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第284位 137件 (2013年:第457位 78件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5600377 | リソグラフィ用投影対物レンズ | 2014年10月 1日 | |
特許 5600680 | 結像光学系 | 2014年10月 1日 | |
特許 5591875 | マイクロリソグラフィ投影対物レンズ | 2014年 9月17日 | |
特許 5586611 | EUVリソグラフィ装置及び光学素子を処理する方法 | 2014年 9月10日 | |
特許 5588176 | 傾斜偏向ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置、投影露光方法、及びミラー | 2014年 9月10日 | |
特許 5585761 | マイクロリソグラフィのための光学要素及び照明光学系 | 2014年 9月10日 | |
特許 5587917 | マイクロリソグラフィ投影露光装置 | 2014年 9月10日 | |
特許 5583646 | ハウジング構造体 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5580298 | 光学モジュールへの力作用を調節可能な光学装置 | 2014年 8月27日 | |
特許 5579063 | 制御可能な光学素子、熱アクチュエータによる光学素子の操作方法および半導体リソグラフィのための投影露光装置 | 2014年 8月27日 | |
特許 5578847 | 半導体リソグラフィ用光学系 | 2014年 8月27日 | |
特許 5576938 | マイクロリソグラフィのための照明光学ユニット | 2014年 8月20日 | |
特許 5567521 | 露光プロセス用の光学素子ユニット | 2014年 8月 6日 | |
特許 5567098 | 瞳補正を有する反射屈折投影対物系 | 2014年 8月 6日 | |
特許 5566501 | 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 | 2014年 8月 6日 |
137 件中 31-45 件を表示
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5600377 5600680 5591875 5586611 5588176 5585761 5587917 5583646 5580298 5579063 5578847 5576938 5567521 5567098 5566501
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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