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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5600377 リソグラフィ用投影対物レンズ 2014年10月 1日
特許 5600680 結像光学系 2014年10月 1日
特許 5591875 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2014年 9月17日
特許 5586611 EUVリソグラフィ装置及び光学素子を処理する方法 2014年 9月10日
特許 5588176 傾斜偏向ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置、投影露光方法、及びミラー 2014年 9月10日
特許 5585761 マイクロリソグラフィのための光学要素及び照明光学系 2014年 9月10日
特許 5587917 マイクロリソグラフィ投影露光装置 2014年 9月10日
特許 5583646 ハウジング構造体 2014年 9月 3日
特許 5580298 光学モジュールへの力作用を調節可能な光学装置 2014年 8月27日
特許 5579063 制御可能な光学素子、熱アクチュエータによる光学素子の操作方法および半導体リソグラフィのための投影露光装置 2014年 8月27日
特許 5578847 半導体リソグラフィ用光学系 2014年 8月27日
特許 5576938 マイクロリソグラフィのための照明光学ユニット 2014年 8月20日
特許 5567521 露光プロセス用の光学素子ユニット 2014年 8月 6日
特許 5567098 瞳補正を有する反射屈折投影対物系 2014年 8月 6日
特許 5566501 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2014年 8月 6日

137 件中 31-45 件を表示

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5600377 5600680 5591875 5586611 5588176 5585761 5587917 5583646 5580298 5579063 5578847 5576938 5567521 5567098 5566501

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