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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第383位 96件 上昇2013年:第430位 93件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第284位 137件 上昇2013年:第457位 78件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5513889 投影露光法および投影露光法のための投影露光システム 2014年 6月 4日
特許 5514175 物体の結合方法および複合体 2014年 6月 4日
特許 5510987 マイクロリソグラフィ投影露光装置 2014年 6月 4日
特許 5507501 マイクロリソグラフィ投影光学系、ある機器を製造するための方法、光学面を設計する方法 2014年 5月28日
特許 5507016 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系及び像配置誤差を低減する方法 2014年 5月28日
特許 5498385 マイクロリソグラフィ用の投影対物系 2014年 5月21日
特許 5497683 偏光変調光学素子 2014年 5月21日
特許 5490243 EUVリソグラフィ用投影露光装置の光学構成体 2014年 5月14日
特許 5490063 液浸リソグラフィー用投影対物レンズ 2014年 5月14日
特許 5491618 EUV波長域用のミラー、そのようなミラーを備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物鏡、およびそのような投影対物鏡を備えるマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 2014年 5月14日
特許 5487110 マイクロリソグラフィ投影露光装置 2014年 5月 7日
特許 5485384 物体視野を像視野に結像するための結像光学系及び物体視野を照明するための照明光学系 2014年 5月 7日
特許 5486082 浸液蒸発作用の低い光学結像 2014年 5月 7日
特許 5486003 半導体部品を製造するためのマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 2014年 5月 7日
特許 5485499 一時的に基板を支持する支持構造 2014年 5月 7日

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5513889 5514175 5510987 5507501 5507016 5498385 5497683 5490243 5490063 5491618 5487110 5485384 5486082 5486003 5485499

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