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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第383位 96件
(2013年:第430位 93件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第284位 137件
(2013年:第457位 78件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5484467 | EUVリソグラフィ装置のための保護モジュール、およびEUVリソグラフィ装置 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5485499 | 一時的に基板を支持する支持構造 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5481192 | 光学表面の実際形状の所望形状からの偏差を測定する方法および装置 | 2014年 4月23日 | |
特許 5479890 | マイクロリソグラフィ投影光学システム、装置、及び製造方法 | 2014年 4月23日 | |
特許 5479889 | デバイス製造用のマイクロリソグラフィ投影光学システム及び方法 | 2014年 4月23日 | |
特許 5476591 | マイクロリソグラフィ用投影対物レンズ | 2014年 4月23日 | |
特許 5476482 | 反射光学構成要素と測定デバイスとを含む反射屈折投影対物系 | 2014年 4月23日 | |
特許 5481475 | マイクロリソグラフィのための投影露光システムおよび側方結像安定性監視方法 | 2014年 4月23日 | |
特許 5478773 | 光学系、露光装置、及び波面補正方法 | 2014年 4月23日 | |
特許 5480232 | 投影露光系、このような投影露光系の補助により微細構造の構成部材を製造する方法、このような系において使用するために適応させた偏光光学素子 | 2014年 4月23日 | |
特許 5475448 | 画像変化を補正する方法及びシステム | 2014年 4月16日 | |
特許 5469778 | 結像光学系及びそのような結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置 | 2014年 4月16日 | |
特許 5475785 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム | 2014年 4月16日 | |
特許 5475220 | 光学撮像装置および方法 | 2014年 4月16日 | |
特許 5465247 | マイクロリソグラフィ投影露光装置における偏光分布を修正する方法及びマイクロリソグラフィ投影露光装置 | 2014年 4月 9日 |
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5484467 5485499 5481192 5479890 5479889 5476591 5476482 5481475 5478773 5480232 5475448 5469778 5475785 5475220 5465247
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5月28日(水) - 東京 港区
5月28日(水) - 東京 千代田区
5月28日(水) - 東京 中央区
5月28日(水) -
5月28日(水) -
5月29日(木) - 東京 港区
5月29日(木) - 東京 品川区
5月29日(木) - 東京 新宿区
5月29日(木) -
5月29日(木) -
5月30日(金) -
5月30日(金) -
5月28日(水) - 東京 港区
6月4日(水) -
6月4日(水) -
6月4日(水) -
6月5日(木) -
6月6日(金) -
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