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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5462739	瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法	2014年 4月 2日
特許 5462625	瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法	2014年 4月 2日
特許 5461387	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイス又は投影対物器械である光学システム	2014年 4月 2日
特許 5462791	マイクロリソグラフィのための投影対物系、投影露光装置、及び投影露光方法	2014年 4月 2日
特許 5460598	光学モジュールに作用する設定可能な力を有する光学デバイス	2014年 4月 2日
特許 5453673	光学要素及び方法	2014年 3月26日
特許 5452591	結像誤差の決定を行う光学結像装置	2014年 3月26日
特許 5443375	紫外線反射光学素子、紫外線反射光学素子を作製する方法、および紫外線反射光学素子を備える投影露光装置	2014年 3月19日
特許 5444390	光学式結像装置、システムおよび方法	2014年 3月19日
特許 5437379	マイクロリソグラフィー投影露光装置	2014年 3月12日
特許 5439469	洗浄モジュール、及び洗浄モジュールを備えたＥＵＶリソグラフィ装置	2014年 3月12日
特許 5436853	投影露光系及び偏光光学素子	2014年 3月 5日
特許 5436213	光学素子をフレームに結合するための方法および装置	2014年 3月 5日
特許 5432382	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学システム	2014年 3月 5日
特許 5432378	ＥＵＶマイクロリソグラフィー用基板及びミラーとその製造方法	2014年 3月 5日

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5462739 5462625 5461387 5462791 5460598 5453673 5452591 5443375 5444390 5437379 5439469 5436853 5436213 5432382 5432378

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