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ギガフォトン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第867位 34件 上昇2011年:第1852位 12件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第1187位 23件 上昇2011年:第2071位 10件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5061069 極端紫外光を用いる半導体露光装置 2012年10月31日
特許 5007455 拡散板のエージング方法 2012年 8月22日
特許 4995379 光源装置及びそれを用いた露光装置 2012年 8月 8日
特許 4963149 光源装置及びそれを用いた露光装置 2012年 6月27日
特許 4915952 ガスレーザ装置におけるウインドウ脱着装置 2012年 4月11日
特許 4906752 放電励起式ガスレーザ装置およびその故障箇所判別方法 2012年 3月28日 共同出願
特許 4899161 エキシマレーザ装置 2012年 3月21日
特許 4883641 ガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置 2012年 2月22日

23 件中 16-23 件を表示

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5061069 5007455 4995379 4963149 4915952 4906752 4899161 4883641

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