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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第867位 34件
(2011年:第1852位 12件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第1187位 23件
(2011年:第2071位 10件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5061069 | 極端紫外光を用いる半導体露光装置 | 2012年10月31日 | |
特許 5007455 | 拡散板のエージング方法 | 2012年 8月22日 | |
特許 4995379 | 光源装置及びそれを用いた露光装置 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4963149 | 光源装置及びそれを用いた露光装置 | 2012年 6月27日 | |
特許 4915952 | ガスレーザ装置におけるウインドウ脱着装置 | 2012年 4月11日 | |
特許 4906752 | 放電励起式ガスレーザ装置およびその故障箇所判別方法 | 2012年 3月28日 | 共同出願 |
特許 4899161 | エキシマレーザ装置 | 2012年 3月21日 | |
特許 4883641 | ガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置 | 2012年 2月22日 |
23 件中 16-23 件を表示
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5061069 5007455 4995379 4963149 4915952 4906752 4899161 4883641
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