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ギガフォトン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第1081位 25件 下降2013年:第520位 74件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第629位 51件 上昇2013年:第699位 46件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5563012 極端紫外光源装置 2014年 7月30日
特許 5554032 極端紫外光源装置 2014年 7月23日
特許 5559562 極端紫外光光源装置 2014年 7月23日
特許 5551426 ターゲット供給装置 2014年 7月16日
特許 5551722 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ 2014年 7月16日
特許 5536401 レーザ装置および極端紫外光光源装置 2014年 7月 2日
特許 5534647 極端紫外光源装置 2014年 7月 2日
特許 5535108 極端紫外光源装置 2014年 7月 2日
特許 5534910 極端紫外光源装置 2014年 7月 2日
特許 5511882 極端紫外光源装置 2014年 6月 4日
特許 5511705 ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 2014年 6月 4日
特許 5513653 レーザ装置の故障診断システム 2014年 6月 4日
特許 5486797 極端紫外光源装置 2014年 5月 7日
特許 5486795 極端紫外光源装置及びそのターゲット供給システム 2014年 5月 7日
特許 5474576 レーザ光増幅器及びそれを用いたレーザ装置 2014年 4月16日

51 件中 16-30 件を表示

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5563012 5554032 5559562 5551426 5551722 5536401 5534647 5535108 5534910 5511882 5511705 5513653 5486797 5486795 5474576

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