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ギガフォトン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第1081位 25件 下降2013年:第520位 74件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第629位 51件 上昇2013年:第699位 46件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5425265 極端紫外光源装置 2014年 2月26日
特許 5425251 露光用放電励起レーザ装置 2014年 2月26日
特許 5410344 レーザ装置 2014年 2月 5日
特許 5410396 レーザ装置 2014年 2月 5日
特許 5393517 極端紫外光源装置 2014年 1月22日
特許 5393658 ガス放電チャンバ 2014年 1月22日

51 件中 46-51 件を表示

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5425265 5425251 5410344 5410396 5393517 5393658

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