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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-202482 検査方法および検査装置 2014年10月27日
特開 2014-194521 試料支持装置 2014年10月 9日
特開 2014-192511 荷電粒子ビーム描画装置 2014年10月 6日
特開 2014-187282 成膜装置および成膜方法 2014年10月 2日 共同出願
特開 2014-183267 セトリング時間の取得方法 2014年 9月29日
特開 2014-181966 検査方法および検査装置 2014年 9月29日
特開 2014-179383 マルチビームの電流調整方法 2014年 9月25日
特開 2014-175173 電子銃装置、描画装置、電子銃電源回路のリーク電流測定方法、及び電子銃電源回路のリーク電流判定方法 2014年 9月22日
特開 2014-175573 荷電粒子ビーム描画装置、アパーチャユニット及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 9月22日
特開 2014-167970 荷電ビーム描画装置用温度測定用マスク、荷電ビーム描画装置の温度測定方法、および荷電ビーム描画装置の温度調整方法 2014年 9月11日
特開 2014-163775 パターン検査方法及びパターン検査装置 2014年 9月 8日
特開 2014-165075 カソードの動作温度調整方法、及び描画装置 2014年 9月 8日
特開 2014-165202 電子線描画装置の故障診断方法、電子線描画装置 2014年 9月 8日
特開 2014-157952 荷電粒子ビーム描画装置、及びバッファメモリのデータ格納方法 2014年 8月28日
特開 2014-157953 荷電粒子ビーム描画装置、および荷電粒子ビーム描画方法 2014年 8月28日

74 件中 16-30 件を表示

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2014-202482 2014-194521 2014-192511 2014-187282 2014-183267 2014-181966 2014-179383 2014-175173 2014-175573 2014-167970 2014-163775 2014-165075 2014-165202 2014-157952 2014-157953

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