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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5107685	気相成長装置及び気相成長方法	2012年12月26日
特許 5107619	描画データの作成装置及び描画データの作成方法	2012年12月26日
特許 5095364	トラッキング制御方法および電子ビーム描画システム	2012年12月12日
特許 5087238	半導体製造装置の保守方法及び半導体製造方法	2012年12月 5日
特許 5087679	電子ビーム装置	2012年12月 5日
特許 5087318	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年12月 5日
特許 5087258	荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置、位置ずれ量計測方法及び位置計測装置	2012年12月 5日
特許 5078151	欠陥検出レベル調整方法および欠陥検査システム	2012年11月21日
特許 5079726	半導体製造方法および半導体製造装置	2012年11月21日
特許 5079410	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年11月21日
特許 5079408	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年11月21日
特許 5068549	描画データの作成方法及びレイアウトデータファイルの作成方法	2012年11月 7日
特許 5068515	描画データの作成方法、描画データの変換方法及び荷電粒子線描画方法	2012年11月 7日
特許 5063071	パタン作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2012年10月31日
特許 5063035	荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2012年10月31日

75 件中 1-15 件を表示

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5107685 5107619 5095364 5087238 5087679 5087318 5087258 5078151 5079726 5079410 5079408 5068549 5068515 5063071 5063035

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