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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第410位 100件 下降2012年:第343位 120件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5305641 パターン検査装置及びパターン検査方法 2013年10月 2日
特許 5305601 描画装置内の演算処理装置の割当て方法 2013年10月 2日
特許 5302606 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2013年10月 2日
特許 5306432 気相成長方法 2013年10月 2日
特許 5301312 荷電粒子ビーム描画装置の較正用基板及び描画方法 2013年 9月25日
特許 5297736 高さ測定方法、荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2013年 9月25日
特許 5283370 気相成長装置および気相成長方法 2013年 9月 4日
特許 5280064 電子ビーム描画装置 2013年 9月 4日
特許 5275935 半導体製造装置および半導体製造方法 2013年 8月28日
特許 5274293 マスク検査装置、それを用いた露光方法及びマスク検査方法 2013年 8月28日
特許 5274176 マスク検査装置及びマスク検査方法 2013年 8月28日
特許 5274239 成膜装置 2013年 8月28日
特許 5271648 半導体製造方法および半導体製造装置 2013年 8月21日
特許 5264384 気相成長装置及び気相成長方法 2013年 8月14日
特許 5256365 半導体装置の製造方法及び露光用マスクへのパターン形成方法 2013年 8月 7日

82 件中 16-30 件を表示

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5305641 5305601 5302606 5306432 5301312 5297736 5283370 5280064 5275935 5274293 5274176 5274239 5271648 5264384 5256365

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