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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5256365	半導体装置の製造方法及び露光用マスクへのパターン形成方法	2013年 8月 7日
特許 5254270	検査方法および検査装置	2013年 8月 7日	共同出願
特許 5254099	パターン寸法測定方法及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年 8月 7日
特許 5252896	気相成長装置及び気相成長方法	2013年 7月31日
特許 5253669	半導体装置の製造方法及び露光用マスクへのパターン形成方法	2013年 7月31日
特許 5243899	荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法	2013年 7月24日
特許 5242963	荷電粒子ビーム描画装置、パターン寸法のリサイズ装置、荷電粒子ビーム描画方法及びパターン寸法のリサイズ方法	2013年 7月24日
特許 5243898	荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法	2013年 7月24日
特許 5238765	電子ビーム・マスク描画装置及びディジタル・アナログ変換／アンプ回路のテスト方法	2013年 7月17日
特許 5231058	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年 7月10日
特許 5232429	描画装置及び描画方法	2013年 7月10日
特許 5231200	感度表データ作成方法及び感度表データ作成装置	2013年 7月10日
特許 5231117	成膜装置および成膜方法	2013年 7月10日
特許 5232864	電子ビーム描画装置の制御装置及び制御方法並びに描画方法	2013年 7月10日
特許 5216347	描画装置及び描画データの変換方法	2013年 6月19日

82 件中 31-45 件を表示

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5256365 5254270 5254099 5252896 5253669 5243899 5242963 5243898 5238765 5231058 5232429 5231200 5231117 5232864 5216347

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