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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5563801	荷電粒子ビーム分解能測定方法および荷電粒子ビーム描画装置	2014年 7月30日
特許 5561968	荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法および振動成分抽出方法	2014年 7月30日
特許 5554620	描画装置、描画方法および描画装置の異常診断方法	2014年 7月23日
特許 5555437	電子ビーム描画装置	2014年 7月23日
特許 5547553	荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法	2014年 7月16日
特許 5547567	荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法	2014年 7月16日
特許 5548375	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2014年 7月16日
特許 5552263	荷電粒子ビーム描画装置の基板位置測定方法および荷電粒子ビーム描画装置	2014年 7月16日
特許 5542584	成膜装置および成膜方法	2014年 7月 9日	共同出願
特許 5542560	半導体製造装置およびサセプタのクリーニング方法	2014年 7月 9日	共同出願
特許 5547113	荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法	2014年 7月 9日
特許 5537766	気相成長装置及び気相成長方法	2014年 7月 2日
特許 5530688	荷電粒子ビーム描画装置およびその近接効果補正方法	2014年 6月25日
特許 5530724	荷電粒子ビーム描画装置およびその近接効果補正方法	2014年 6月25日
特許 5525902	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2014年 6月18日

115 件中 31-45 件を表示

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5563801 5561968 5554620 5555437 5547553 5547567 5548375 5552263 5542584 5542560 5547113 5537766 5530688 5530724 5525902

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