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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第343位 120件 (2011年:第376位 103件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第464位 75件 (2011年:第886位 31件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 4956470 | 半導体製造装置および半導体製造方法 | 2012年 6月20日 | |
特許 4953693 | 荷電ビーム描画装置の描画エラー診断方法および荷電ビーム描画装置 | 2012年 6月13日 | |
特許 4945402 | 描画データ検証方法及びマスク描画装置 | 2012年 6月 6日 | |
特許 4945380 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 6月 6日 | |
特許 4948948 | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画装置の評価方法 | 2012年 6月 6日 | |
特許 4942800 | 検査装置 | 2012年 5月30日 | 共同出願 |
特許 4939076 | 荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 5月23日 | |
特許 4933409 | 半導体製造装置および半導体製造方法 | 2012年 5月16日 | |
特許 4932433 | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 | 2012年 5月16日 | |
特許 4933601 | 検査装置および検査方法 | 2012年 5月16日 | |
特許 4933399 | 半導体製造方法および半導体製造装置 | 2012年 5月16日 | |
特許 4918598 | 検査装置および検査方法 | 2012年 4月18日 | |
特許 4916505 | 荷電粒子ビーム描画装置および方法 | 2012年 4月11日 | |
特許 4908800 | 電子ビーム装置 | 2012年 4月 4日 | |
特許 4908799 | 電子ビーム装置 | 2012年 4月 4日 |
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4956470 4953693 4945402 4945380 4948948 4942800 4939076 4933409 4932433 4933601 4933399 4918598 4916505 4908800 4908799
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