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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5484808 描画装置及び描画方法 2014年 5月 7日
特許 5479260 サセプタの処理方法および半導体製造装置の処理方法 2014年 4月23日 共同出願
特許 5481224 成膜装置および成膜方法 2014年 4月23日 共同出願
特許 5481554 荷電ビーム描画装置及び荷電ビーム描画装置の設計方法 2014年 4月23日
特許 5480555 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 4月23日
特許 5480496 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2014年 4月23日
特許 5469438 温度調節システムおよびこれを用いた荷電粒子ビーム描画装置 2014年 4月16日
特許 5469531 描画データの作成方法、荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2014年 4月16日
特許 5468796 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法、及びデータ処理方式選択装置 2014年 4月 9日
特許 5466416 荷電粒子ビーム描画方法および装置 2014年 4月 9日
特許 5466414 荷電粒子ビーム描画装置およびパターン検査装置並びにレイアウト表示方法 2014年 4月 9日
特許 5465923 荷電粒子ビーム描画の主偏向セトリング時間の決定方法及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 4月 9日
特許 5463429 荷電粒子描画システム及び荷電粒子描画装置のパラメータ監視方法 2014年 4月 9日
特許 5463149 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 4月 9日
特許 5463016 パターンデータ作成方法 2014年 4月 9日

115 件中 61-75 件を表示

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5484808 5479260 5481224 5481554 5480555 5480496 5469438 5469531 5468796 5466416 5466414 5465923 5463429 5463149 5463016

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