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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第410位 100件 下降2012年:第343位 120件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5123754 描画装置及び荷電粒子ビームの焦点合わせ方法 2013年 1月23日
特許 5123561 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 1月23日
特許 5123730 偏向アンプのセトリング時間検査方法及び偏向アンプの故障判定方法 2013年 1月23日
特許 5121524 ビーム照射位置誤差の検出方法およびビーム照射位置誤差の補正方法 2013年 1月16日
特許 5121291 データ転送システム 2013年 1月16日
特許 5121642 マスク検査装置及びマスク検査方法 2013年 1月16日
特許 5111798 描画装置、及び描画装置における描画方法 2013年 1月 9日

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5123754 5123561 5123730 5121524 5121291 5121642 5111798

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