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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5433011 電子ビーム記録装置 2014年 3月 5日
特許 5432780 描画装置及び基板の判定方法 2014年 3月 5日
特許 5432778 形成装置 2014年 3月 5日
特許 5432637 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 3月 5日
特許 5436927 荷電粒子ビーム描画装置の基板搬送方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 3月 5日
特許 5432630 荷電粒子ビーム描画装置、偏向器間のタイミング調整方法、及び偏向アンプの故障検出方法 2014年 3月 5日
特許 5420892 荷電粒子ビーム描画装置 2014年 2月19日
特許 5416998 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 2月12日
特許 5416431 電子ビーム描画装置、その電子ビーム描画装置の電子銃のカソード加熱用の電力制御装置及び電力制御方法 2014年 2月12日
特許 5414103 荷電粒子ビーム描画装置およびその描画データ処理方法 2014年 2月12日
特許 5414102 荷電粒子ビーム描画装置およびその描画データ処理方法 2014年 2月12日
特許 5414043 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画データ作成装置 2014年 2月12日
特許 5408652 荷電粒子ビーム描画方法および装置 2014年 2月 5日
特許 5406551 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 2月 5日
特許 5403981 基板カバー 2014年 1月29日

115 件中 91-105 件を表示

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5433011 5432780 5432778 5432637 5436927 5432630 5420892 5416998 5416431 5414103 5414102 5414043 5408652 5406551 5403981

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