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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5399771 成膜装置 2014年 1月29日
特許 5401065 荷電粒子ビーム描画装置における試料の載置位置測定方法及び載置位置補正方法 2014年 1月29日
特許 5403981 基板カバー 2014年 1月29日
特許 5403744 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法、および、荷電粒子ビーム描画用データの処理装置 2014年 1月29日
特許 5403739 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 1月29日
特許 5401135 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム 2014年 1月29日
特許 5403603 描画装置の描画エラー検証方法及び描画装置の描画エラー検証用データの作成装置 2014年 1月29日
特許 5403599 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 1月29日
特許 5386109 データの検証方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 1月15日
特許 5386108 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置の描画データ転送方法 2014年 1月15日

115 件中 106-115 件を表示

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5399771 5401065 5403981 5403744 5403739 5401135 5403603 5403599 5386109 5386108

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