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株式会社アルバック

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  2019年 出願公開件数ランキング    第252位 173件 上昇2018年:第362位 104件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第282位 100件 上昇2018年:第328位 87件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6482325 冷陰極電離真空計 2019年 3月13日
特許 6483152 基板監視装置、および、基板監視方法 2019年 3月13日
特許 6483259 基板処理装置 2019年 3月13日
特許 6483266 基板処理方法、および、基板処理装置 2019年 3月13日
特許 6480222 イオンビーム装置、イオン注入装置、イオンビーム放出方法 2019年 3月 6日
特許 6476245 炭素ナノ構造体成長用のCVD装置及び炭素ナノ構造体の製造方法 2019年 2月27日
特許 6476355 シャワーヘッド及び真空処理装置 2019年 2月27日
特許 6472230 真空処理方法 2019年 2月20日
特許 6472859 位置検出装置、および、蒸着装置 2019年 2月20日
特許 6473276 真空排気装置及び真空排気装置の冷却方法 2019年 2月20日
特許 6473280 真空ポンプ 2019年 2月20日
特許 6473283 真空ポンプ 2019年 2月20日
特許 6469432 ロータリーカソード、および、スパッタ装置 2019年 2月13日
特許 6469434 ロータリーカソード、および、スパッタ装置 2019年 2月13日
特許 6470876 Cu膜の形成方法 2019年 2月13日

100 件中 76-90 件を表示

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6482325 6483152 6483259 6483266 6480222 6476245 6476355 6472230 6472859 6473276 6473280 6473283 6469432 6469434 6470876

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