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株式会社アルバック

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株式会社アルバックの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7503702	真空蒸着装置用の蒸着源	2024年 6月20日
特許 7502120	成膜装置及び成膜方法	2024年 6月18日
特許 7496239	薄膜リチウム二次電池及び薄膜リチウム二次電池の製造方法	2024年 6月 6日
特許 7495289	クリーニング方法	2024年 6月 4日
特許 7493580	準化学量論的金属酸化物薄膜	2024年 5月31日
特許 7493666	酸化物半導体薄膜、薄膜半導体装置及びその製造方法、並びにスパッタリングターゲット及びその製造方法	2024年 5月31日
特許 7493688	酸化物半導体薄膜形成用スパッタリングターゲット、酸化物半導体薄膜形成用スパッタリングターゲットの製造方法、酸化物半導体薄膜、薄膜半導体装置及びその製造方法	2024年 5月31日
特許 7492900	プラズマ処理装置	2024年 5月30日
特許 7492990	プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法	2024年 5月30日
特許 7488127	金属配線の形成方法及び成膜装置	2024年 5月21日
特許 7488135	スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法	2024年 5月21日
特許 7488147	ハードマスク及びハードマスクの製造方法	2024年 5月21日
特許 7488149	真空処理装置、真空処理方法	2024年 5月21日
特許 7481150	真空成膜装置及び真空成膜方法	2024年 5月10日
特許 7478049	スパッタリング装置及び金属化合物膜の成膜方法	2024年 5月 2日

66 件中 31-45 件を表示

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7503702 7502120 7496239 7495289 7493580 7493666 7493688 7492900 7492990 7488127 7488135 7488147 7488149 7481150 7478049

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