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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

(ランキング更新日:2020年7月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5823160 堆積物除去方法 2015年11月25日
特許 5823399 マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置 2015年11月25日
特許 5823424 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム 2015年11月25日
特許 5823922 成膜方法 2015年11月25日
特許 5824372 処理装置及びプロセス状態の確認方法 2015年11月25日
特許 5819448 プラズマ処理装置、異常判定方法及びマイクロ波発生器 2015年11月24日
特許 5820661 マイクロ波照射装置 2015年11月24日
特許 5820709 基板処理方法、この基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体、および基板処理装置 2015年11月24日
特許 5821689 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2015年11月24日
特許 5821784 エッチング方法、エッチング装置及び記憶媒体 2015年11月24日
特許 5821816 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2015年11月24日
特許 5822578 載置台温度制御装置及び基板処理装置 2015年11月24日
特許 5817693 基板処理装置 2015年11月18日
特許 5817906 プラズマ処理装置、および高周波発生器 2015年11月18日
特許 5818710 パターン形成方法 2015年11月18日

439 件中 31-45 件を表示

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5823160 5823399 5823424 5823922 5824372 5819448 5820661 5820709 5821689 5821784 5821816 5822578 5817693 5817906 5818710

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