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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5666394 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2015年 2月12日
特許 5666414 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 2015年 2月12日
特許 5666419 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2015年 2月12日
特許 5666888 プラズマ処理装置及び処理システム 2015年 2月12日
特許 5666991 誘導結合プラズマ用アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置 2015年 2月12日
特許 5667012 リング状シールド部材、その構成部品及びリング状シールド部材を備えた基板載置台 2015年 2月12日
特許 5667545 液処理装置および液処理方法 2015年 2月12日
特許 5667550 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2015年 2月12日
特許 5667592 基板処理装置 2015年 2月12日
特許 5667953 基板の処理方法及び基板の処理装置 2015年 2月12日
特許 5667996 基板処理装置 2015年 2月12日
特許 5668254 比重誘起ガス拡散分離(GIGDS)法によるプラズマ生成の制御 2015年 2月12日
特許 5668650 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2015年 2月12日
特許 5662845 熱処理装置およびその制御方法 2015年 2月 4日
特許 5662918 液処理装置及び液処理方法 2015年 2月 4日

439 件中 376-390 件を表示

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5666394 5666414 5666419 5666888 5666991 5667012 5667545 5667550 5667592 5667953 5667996 5668254 5668650 5662845 5662918

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