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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-125566 プラズマ処理装置及びガス流量調整方法 2021年 8月30日
特開 2021-125590 成膜装置及び成膜方法 2021年 8月30日
特開 2021-125607 成膜方法 2021年 8月30日
特開 2021-125608 成膜方法及び成膜装置 2021年 8月30日
特開 2021-125610 成膜方法及び成膜装置 2021年 8月30日
特開 2021-125637 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2021年 8月30日
特開 2021-125652 基板保持機構及び基板処理装置 2021年 8月30日
特開 2021-125654 プロセス推定システム、プロセスデータ推定方法及びプログラム 2021年 8月30日
特開 2021-125656 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 2021年 8月30日
特開 2021-125660 基板位置決め装置、基板位置決め方法および接合装置 2021年 8月30日
再表 2020-31679 基板処理装置および基板処理方法 2021年 8月26日
再表 2020-31778 成膜装置及び成膜方法 2021年 8月26日
再表 2020-39803 基板処理システム 2021年 8月26日
再表 2020-39974 基板処理方法及び基板処理装置 2021年 8月26日
再表 2020-45302 基板処理方法および基板処理装置 2021年 8月26日

882 件中 346-360 件を表示

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2021-125566 2021-125590 2021-125607 2021-125608 2021-125610 2021-125637 2021-125652 2021-125654 2021-125656 2021-125660 2020-31679 2020-31778 2020-39803 2020-39974 2020-45302

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