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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
再表 2020-26845 成膜装置 2021年 8月 5日
特開 2021-114360 アレーアンテナ及びプラズマ処理装置 2021年 8月 5日
特開 2021-114524 エアギャップ形成方法 2021年 8月 5日
特開 2021-114533 シリコン成膜方法 2021年 8月 5日
特開 2021-114546 基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 2021年 8月 5日
特開 2021-114551 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2021年 8月 5日
特開 2021-114569 基板処理方法および基板処理装置 2021年 8月 5日
特開 2021-114585 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2021年 8月 5日
特開 2021-114631 ウエハ検査システム 2021年 8月 5日
再表 2020-3995 加工装置 2021年 8月 2日
再表 2020-12951 加工装置、加工方法及びコンピュータ記憶媒体 2021年 8月 2日
再表 2020-17376 現像処理装置及び現像処理方法 2021年 8月 2日
再表 2020-17599 基板処理システム及び基板処理方法 2021年 8月 2日
再表 2020-22069 基板加熱装置及び基板加熱方法 2021年 8月 2日
再表 2020-22103 基板処理方法及び基板処理装置 2021年 8月 2日

882 件中 391-405 件を表示

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2020-26845 2021-114360 2021-114524 2021-114533 2021-114546 2021-114551 2021-114569 2021-114585 2021-114631 2020-3995 2020-12951 2020-17376 2020-17599 2020-22069 2020-22103

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