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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第33位 878件
(2020年:第43位 773件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第45位 515件
(2020年:第54位 436件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
再表 2020-26845 | 成膜装置 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114360 | アレーアンテナ及びプラズマ処理装置 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114524 | エアギャップ形成方法 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114533 | シリコン成膜方法 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114546 | 基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114551 | エッチング方法及びプラズマ処理装置 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114569 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114585 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | 2021年 8月 5日 | |
特開 2021-114631 | ウエハ検査システム | 2021年 8月 5日 | |
再表 2020-3995 | 加工装置 | 2021年 8月 2日 | |
再表 2020-12951 | 加工装置、加工方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2021年 8月 2日 | |
再表 2020-17376 | 現像処理装置及び現像処理方法 | 2021年 8月 2日 | |
再表 2020-17599 | 基板処理システム及び基板処理方法 | 2021年 8月 2日 | |
再表 2020-22069 | 基板加熱装置及び基板加熱方法 | 2021年 8月 2日 | |
再表 2020-22103 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2021年 8月 2日 |
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2020-26845 2021-114360 2021-114524 2021-114533 2021-114546 2021-114551 2021-114569 2021-114585 2021-114631 2020-3995 2020-12951 2020-17376 2020-17599 2020-22069 2020-22103
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