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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

(ランキング更新日:2025年2月13日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-118203 搬送装置、処理システム及び搬送方法 2021年 8月10日
特開 2021-118221 成膜方法及び成膜装置 2021年 8月10日
特開 2021-118243 基板処理装置及び基板処理方法 2021年 8月10日
特開 2021-118249 プラズマ処理装置 2021年 8月10日
特開 2021-118250 基板処理方法及び基板処理装置 2021年 8月10日
特開 2021-118276 基板処理装置 2021年 8月10日
特開 2021-118300 研削装置、及び研削方法 2021年 8月10日
特開 2021-118301 基板処理装置、及び基板処理方法 2021年 8月10日
特開 2021-118304 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2021年 8月10日
特開 2021-118314 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2021年 8月10日
特開 2021-118315 エッチング方法、基板処理装置、及び基板処理システム 2021年 8月10日
特開 2021-118347 エッチング方法、基板処理装置、及び基板処理システム 2021年 8月10日
特開 2021-118351 基板処理装置、基板処理方法及び薬液 2021年 8月10日
特開 2021-118353 基板処理方法及び基板処理システム 2021年 8月10日
特開 2021-118513 方向性結合器、基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 2021年 8月10日

882 件中 376-390 件を表示

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2021-118203 2021-118221 2021-118243 2021-118249 2021-118250 2021-118276 2021-118300 2021-118301 2021-118304 2021-118314 2021-118315 2021-118347 2021-118351 2021-118353 2021-118513

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