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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
再表 2020-49959 基板処理方法及び基板処理装置 2021年 8月26日
再表 2020-50041 基板処理方法および基板処理システム 2021年 8月26日
再表 2020-50072 推論方法、推論装置、モデルの生成方法及び学習装置 2021年 8月26日
特表 2021-521590 プロセスプラズマにおけるイオンエネルギー分布を制御するための装置及び方法 2021年 8月26日
特表 2021-521637 低容量相互接続用のエアギャップを備えた半導体デバイスを形成する方法 2021年 8月26日
特表 2021-520637 完全自己整合方式を使用するサブトラクティブ相互接続形成 2021年 8月19日
特開 2021-120759 露光装置及び露光方法 2021年 8月19日
特開 2021-119638 検査システム 2021年 8月12日
再表 2020-39802 基板処理システムおよび基板処理方法 2021年 8月10日
再表 2020-39849 基板処理方法および基板処理装置 2021年 8月10日
再表 2020-39952 描画装置および描画方法 2021年 8月10日
特開 2021-116471 基板処理装置および基板処理方法 2021年 8月10日
特開 2021-118045 プラズマ観測システム及びプラズマ観測方法 2021年 8月10日
特開 2021-118102 処理方法及びプラズマ処理装置 2021年 8月10日
特開 2021-118201 基板処理装置及びパージ方法 2021年 8月10日

882 件中 361-375 件を表示

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2020-49959 2020-50041 2020-50072 2021-521590 2021-521637 2021-520637 2021-120759 2021-119638 2020-39802 2020-39849 2020-39952 2021-116471 2021-118045 2021-118102 2021-118201

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