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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2021-97033	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2021年 6月24日
特開 2021-97065	リングアセンブリ、基板支持体及び基板処理装置	2021年 6月24日
特開 2021-97102	エッジリング及び基板処理装置	2021年 6月24日
特開 2021-97106	静電チャック検査用基板、静電チャック検査システム及び静電チャック検査方法	2021年 6月24日
特開 2021-97142	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2021年 6月24日
特開 2021-97162	基板処理装置及び載置台	2021年 6月24日
特開 2021-97192	熱処理装置	2021年 6月24日
特開 2021-97194	バッフル部材及び基板処理装置	2021年 6月24日
特開 2021-97218	基板処理方法及び基板処理システム	2021年 6月24日
特開 2021-97248	搬送装置、および基板処理システム	2021年 6月24日
特開 2021-97249	搬送装置、および搬送方法	2021年 6月24日
再表 2019-235275	基板処理装置および基板処理方法	2021年 6月17日
再表 2019-235282	基板処理装置およびシャワーヘッド	2021年 6月17日
再表 2019-239970	基板処理方法および基板処理装置	2021年 6月17日
特表 2021-515402	パターンを層に転写する方法	2021年 6月17日

882 件中 466-480 件を表示

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2021-97033 2021-97065 2021-97102 2021-97106 2021-97142 2021-97162 2021-97192 2021-97194 2021-97218 2021-97248 2021-97249 2019-235275 2019-235282 2019-239970 2021-515402

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