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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

(ランキング更新日:2025年2月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2021-515409 水平基板ボート 2021年 6月17日
特開 2021-92502 搬送するシステム及び方法 2021年 6月17日
特開 2021-92537 形状特性値推定装置、形状特性値推定方法、及び記憶媒体 2021年 6月17日
特開 2021-93394 計測装置、計測方法、及び真空処理装置 2021年 6月17日
特開 2021-93395 エッチング方法及びエッチング装置 2021年 6月17日
特開 2021-93396 基板処理装置、および基板処理方法 2021年 6月17日
特開 2021-93462 回転駆動装置、基板処理装置及び回転駆動方法 2021年 6月17日
特開 2021-93466 エッチング方法及びエッチング装置 2021年 6月17日
特開 2021-93486 液処理装置及び処理液の温度調整方法 2021年 6月17日
特開 2021-93504 制御方法及びプラズマ処理装置 2021年 6月17日
特開 2021-93505 基板処理装置用の部品及び基板処理システム 2021年 6月17日
特開 2021-93519 治具、処理システム及び処理方法 2021年 6月17日
特開 2021-93523 基板上のパターン形状を制御する方法及び装置 2021年 6月17日
特開 2021-93543 被加工物の処理装置 2021年 6月17日
特開 2021-93555 接合装置 2021年 6月17日

882 件中 481-495 件を表示

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2021-515409 2021-92502 2021-92537 2021-93394 2021-93395 2021-93396 2021-93462 2021-93466 2021-93486 2021-93504 2021-93505 2021-93519 2021-93523 2021-93543 2021-93555

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