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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2021-86988	基板処理装置、及び基板処理方法	2021年 6月 3日
特開 2021-86989	真空チャック、及び接合装置	2021年 6月 3日
再表 2019-216314	基板処理システム及び基板処理方法	2021年 5月27日
再表 2019-225319	基板処理装置	2021年 5月27日
特表 2021-513749	相補型電界効果トランジスタ（ＣＦＥＴ）デバイスにおいて複数のチャネル材料を組み込む方法	2021年 5月27日
特開 2021-79561	シール材の製造方法および製造装置	2021年 5月27日
特開 2021-80522	基板処理方法及び基板処理装置	2021年 5月27日
特開 2021-80536	基板処理方法及び基板処理装置	2021年 5月27日
特開 2021-81233	温度計測システム、温度計測方法及び基板処理装置	2021年 5月27日
特開 2021-82127	ガス供給システム、プラズマ処理装置及びガス供給システムの制御方法	2021年 5月27日
特開 2021-82701	膜をエッチングする方法及びプラズマ処理装置	2021年 5月27日
特開 2021-82728	成膜方法および成膜装置	2021年 5月27日
特開 2021-82764	基板処理装置、および基板処理方法	2021年 5月27日
特開 2021-82788	熱伝導性部材、プラズマ処理装置及び電圧制御方法	2021年 5月27日
特開 2021-82843	基板処理方法、基板処理システムおよび記憶媒体	2021年 5月27日

882 件中 526-540 件を表示

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2021-86988 2021-86989 2019-216314 2019-225319 2021-513749 2021-79561 2021-80522 2021-80536 2021-81233 2021-82127 2021-82701 2021-82728 2021-82764 2021-82788 2021-82843

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