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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-74802 研削装置、及び研削方法 2021年 5月20日
特開 2021-75739 基板を処理する装置、処理ガスを濃縮する装置、及び基板を処理する方法 2021年 5月20日
特開 2021-77451 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2021年 5月20日
特開 2021-77662 ウエハ、クリーニング方法、基板処理装置およびプラズマ処理システム 2021年 5月20日
特開 2021-77676 基板を処理する装置、原料カートリッジ、基板を処理する方法、及び原料カートリッジを製造する方法 2021年 5月20日
特開 2021-77691 基板処理装置及び基板収納容器保管方法 2021年 5月20日
特開 2021-77693 処理方法 2021年 5月20日
特開 2021-77702 基板処理方法および基板処理装置 2021年 5月20日
特開 2021-77709 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2021年 5月20日
特開 2021-77752 プラズマ処理装置 2021年 5月20日
特開 2021-77754 ガス供給方法及び基板処理装置 2021年 5月20日
特開 2021-77755 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2021年 5月20日
特開 2021-77759 監視システム 2021年 5月20日
特開 2021-77808 プラズマ処理装置 2021年 5月20日
特開 2021-77809 プラズマ処理装置 2021年 5月20日

882 件中 541-555 件を表示

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2021-74802 2021-75739 2021-77451 2021-77662 2021-77676 2021-77691 2021-77693 2021-77702 2021-77709 2021-77752 2021-77754 2021-77755 2021-77759 2021-77808 2021-77809

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