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東京エレクトロン株式会社

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　■　2021年特許取得件数ランキング　　　第45位　515件（2020年：第54位　436件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2021-67502	成膜装置、制御装置及び圧力計の調整方法	2021年 4月30日
特開 2021-68682	制御方法及びプラズマ処理装置	2021年 4月30日
特開 2021-68718	基板処理システム、基板処理装置及び基板処理方法	2021年 4月30日
特開 2021-68739	基板処理装置	2021年 4月30日
特開 2021-68752	基板処理システム及びエッジリングを交換する方法	2021年 4月30日
特開 2021-68782	載置台アセンブリ、基板処理装置、及びシール部材	2021年 4月30日
特開 2021-68831	故障検知システム及び故障検知方法	2021年 4月30日
特開 2021-68867	基板処理方法及び基板処理システム	2021年 4月30日
特開 2021-68869	基板処理方法及び基板処理システム	2021年 4月30日
特開 2021-68870	基板処理方法及び基板処理システム	2021年 4月30日
特開 2021-68879	基板処理方法および基板処理システム	2021年 4月30日
特開 2021-68880	吸着方法、載置台及びプラズマ処理装置	2021年 4月30日
特開 2021-68886	基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体	2021年 4月30日
再表 2019-202962	薬液の異常検出装置、液処理装置、基板処理装置、薬液の異常検出方法、液処理方法及び基板処理方法	2021年 4月22日
再表 2019-208214	測定方法および測定装置	2021年 4月22日

882 件中 571-585 件を表示

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2021-67502 2021-68682 2021-68718 2021-68739 2021-68752 2021-68782 2021-68831 2021-68867 2021-68869 2021-68870 2021-68879 2021-68880 2021-68886 2019-202962 2019-208214

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