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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
再表 2019-208298	基板処理システム及び基板処理方法	2021年 4月22日
再表 2019-208338	基板処理システム、および基板処理方法	2021年 4月22日
特開 2021-63273	部材、部材の製造方法及び基板処理装置	2021年 4月22日
特開 2021-64508	プラズマ処理装置	2021年 4月22日
特開 2021-64509	処理方法及びプラズマ処理装置	2021年 4月22日
特開 2021-64652	基板処理システム、及び基板処理方法	2021年 4月22日
特開 2021-64653	基板処理装置、及び基板処理方法	2021年 4月22日
特開 2021-64654	基板処理システム、及び基板処理方法	2021年 4月22日
特開 2021-64677	基板処理方法、基板、基板製造方法、及び基板支持器	2021年 4月22日
特開 2021-64695	基板処理装置及び基板処理方法	2021年 4月22日
特開 2021-64746	基板処理装置および装置洗浄方法	2021年 4月22日
特開 2021-64748	基板処理装置および装置洗浄方法	2021年 4月22日
特開 2021-64750	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2021年 4月22日
特開 2021-64770	基板処理装置	2021年 4月22日
特開 2021-64786	基板のビーム処理のための機器および方法	2021年 4月22日

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2019-208298 2019-208338 2021-63273 2021-64508 2021-64509 2021-64652 2021-64653 2021-64654 2021-64677 2021-64695 2021-64746 2021-64748 2021-64750 2021-64770 2021-64786

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