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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 出願公開件数ランキング    第35位 566件 下降2024年:第27位 725件)

  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7712046 測定治具及び処理方法 2025年 7月23日
特許 7712048 成膜方法及び成膜装置 2025年 7月23日
特許 7712242 エッチング方法及びプラズマ処理システム 2025年 7月23日
特許 7712362 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 7月23日
特許 7710315 基板処理方法および基板処理装置 2025年 7月18日
特許 7710322 載置台及び基板処理装置 2025年 7月18日
特許 7710380 基板処理システム及びパーティクル除去方法 2025年 7月18日
特許 7710382 基板処理装置及び位置ずれ補正方法 2025年 7月18日
特許 7710398 予測方法及び情報処理装置 2025年 7月18日
特許 7710528 基板処理システム及び基板処理方法 2025年 7月18日
特許 7710540 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2025年 7月18日
特許 7710548 プラズマ処理装置 2025年 7月18日
特許 7709859 液処理装置及び液処理方法 2025年 7月17日
特許 7709871 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年 7月17日
特許 7709926 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 7月17日

757 件中 286-300 件を表示

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7712046 7712048 7712242 7712362 7710315 7710322 7710380 7710382 7710398 7710528 7710540 7710548 7709859 7709871 7709926

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