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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第20位 740件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7705780 パターンを形成する方法 2025年 7月10日
特許 7705787 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2025年 7月10日
特許 7705812 プラズマ処理装置 2025年 7月10日
特許 7704502 情報処理装置、移載位置教示方法及び基板処理装置 2025年 7月 8日
特許 7704505 半導体デバイスの製造方法 2025年 7月 8日
特許 7704506 温度推定装置、プラズマ処理システム、温度推定方法及び温度推定プログラム 2025年 7月 8日
特許 7704507 熱処理装置、制御方法及びプログラム 2025年 7月 8日
特許 7704508 熱処理装置、被処理体保護方法及びプログラム 2025年 7月 8日
特許 7703668 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 7月 7日
特許 7703740 接合装置 2025年 7月 7日
特許 7702772 選択的原子層エッチング(ALE)を用いた平面化を改善するシステムおよび方法 2025年 7月 4日
特許 7702773 プラズマエッチングにおける終点検出のための合成波長 2025年 7月 4日
特許 7702856 基板処理システム及びパーティクル除去方法 2025年 7月 4日
特許 7702930 成膜方法及び成膜装置 2025年 7月 4日
特許 7703041 基板処理システム及び基板処理方法 2025年 7月 4日

748 件中 301-315 件を表示

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7705780 7705787 7705812 7704502 7704505 7704506 7704507 7704508 7703668 7703740 7702772 7702773 7702856 7702930 7703041

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