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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第20位 740件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7699180 基板処理の条件設定支援方法、基板処理システム、記憶媒体及び学習モデル 2025年 6月26日
特許 7699212 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 6月26日
特許 7699251 基板処理装置、基板処理方法、及びプログラム 2025年 6月26日
特許 7698389 基板処理装置 2025年 6月25日
特許 7697261 基板搬送装置及び基板搬送方法 2025年 6月24日
特許 7698039 成膜装置 2025年 6月24日
特許 7697028 基板処理方法および基板処理装置 2025年 6月23日
特許 7696241 基板処理装置および基板処理方法 2025年 6月20日
特許 7696244 フィルタ回路およびプラズマ処理装置 2025年 6月20日
特許 7696258 成膜システムおよび成膜方法 2025年 6月20日
特許 7695833 基板処理装置及びミストガードの洗浄方法 2025年 6月19日
特許 7696065 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 6月19日
特許 7696071 プラズマ処理装置及び制御方法 2025年 6月19日
特許 7695038 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 6月18日
特許 7693481 成膜装置、成膜方法及び成膜システム 2025年 6月17日

748 件中 331-345 件を表示

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7699180 7699212 7699251 7698389 7697261 7698039 7697028 7696241 7696244 7696258 7695833 7696065 7696071 7695038 7693481

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