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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第20位 740件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7682054 プラズマ処理装置 2025年 5月23日
特許 7682068 エッチング方法及びエッチング装置 2025年 5月23日
特許 7682260 プラズマ処理装置及び電極機構 2025年 5月23日
特許 7682261 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2025年 5月23日
特許 7681434 外周塗布方法、基板処理装置及び記憶媒体 2025年 5月22日
特許 7681436 処理液供給装置、処理液供給方法及び記憶媒体 2025年 5月22日
特許 7681490 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 5月22日
特許 7680812 複合ロジックセルのための小型3D積層CFETアーキテクチャ 2025年 5月21日
特許 7680814 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 5月21日
特許 7680815 プラズマ処理装置、基板処理システム及び固定具 2025年 5月21日
特許 7679629 基板の搬送を行う装置、基板を処理するシステム及び基板を処理する方法 2025年 5月20日
特許 7680122 異常検出方法及び処理装置 2025年 5月20日
特許 7680123 成膜装置及び成膜方法 2025年 5月20日
特許 7680124 洗浄ブラシ、基板加工装置、及び基板加工方法 2025年 5月20日
特許 7680125 洗浄ブラシ、基板加工装置、及び基板加工方法 2025年 5月20日

748 件中 406-420 件を表示

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7682054 7682068 7682260 7682261 7681434 7681436 7681490 7680812 7680814 7680815 7679629 7680122 7680123 7680124 7680125

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