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東京エレクトロン株式会社
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7685973 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2025年 5月30日 | |
| 特許 7686038 | 基板処理装置 | 2025年 5月30日 | |
| 特許 7686121 | 基板搬送装置、基板搬送方法、および基板処理システム | 2025年 5月30日 | |
| 特許 7685431 | 処理液供給装置及び処理液排出方法 | 2025年 5月29日 | |
| 特許 7685432 | 溶剤蒸気供給装置及び溶剤蒸気供給方法 | 2025年 5月29日 | |
| 特許 7685636 | 反り量推定装置及び反り量推定方法 | 2025年 5月29日 | |
| 特許 7683294 | 基板を搬送する装置、及び基板を搬送する方法 | 2025年 5月27日 | |
| 特許 7683343 | エッチング方法及びエッチング装置 | 2025年 5月27日 | |
| 特許 7683383 | 窒化チタン膜を形成する方法、及び窒化チタン膜を形成する装置 | 2025年 5月27日 | |
| 特許 7683997 | 基板支持部及び処理装置 | 2025年 5月27日 | |
| 特許 7683999 | 処理装置、およびクリーニング処理方法 | 2025年 5月27日 | |
| 特許 7684000 | 着火制御方法、成膜方法及び成膜装置 | 2025年 5月27日 | |
| 特許 7684001 | 成膜装置及び成膜方法 | 2025年 5月27日 | |
| 特許 7682690 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2025年 5月26日 | |
| 特許 7682040 | プラズマ処理装置 | 2025年 5月23日 |
748 件中 391-405 件を表示
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7685973 7686038 7686121 7685431 7685432 7685636 7683294 7683343 7683383 7683997 7683999 7684000 7684001 7682690 7682040
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