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東京エレクトロン株式会社
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（
2024年：第27位 725件）
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第20位 740件
（
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7677834 | 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 | 2025年 5月15日 | |
| 特許 7677862 | プラズマ処理装置 | 2025年 5月15日 | |
| 特許 7677875 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2025年 5月15日 | |
| 特許 7678163 | 部品交換システムおよび部品交換装置 | 2025年 5月15日 | |
| 特許 7678183 | 基板検査装置 | 2025年 5月15日 | |
| 特許 7678233 | プラズマ処理装置、ソース高周波電力のソース周波数を制御する方法、及び記憶媒体 | 2025年 5月15日 | |
| 特許 7676278 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2025年 5月14日 | |
| 特許 7676619 | 基板処理装置、及び基板処理方法 | 2025年 5月14日 | |
| 特許 7675525 | 測定用治具 | 2025年 5月13日 | |
| 特許 7675540 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2025年 5月13日 | |
| 特許 7675566 | 気体処理装置及び基板処理装置 | 2025年 5月13日 | |
| 特許 7675808 | 搬送装置及び膨張量算出方法 | 2025年 5月13日 | |
| 特許 7675954 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2025年 5月13日 | |
| 特許 7675033 | エッチング方法及びプラズマ処理装置 | 2025年 5月12日 | |
| 特許 7675044 | エッチング方法及びプラズマ処理システム | 2025年 5月12日 |
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7677834 7677862 7677875 7678163 7678183 7678233 7676278 7676619 7675525 7675540 7675566 7675808 7675954 7675033 7675044
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