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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 749件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7612689 検査基板、その再生方法、および基板処理装置 2025年 1月14日
特許 7612824 交換装置 2025年 1月14日
特許 7612922 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2025年 1月14日
特許 7612949 プラズマ処理装置、電源システム、及び周波数制御方法 2025年 1月14日
特許 7611943 表面改質装置及び接合強度判定方法 2025年 1月10日
特許 7610939 ロボット及びハンド部姿勢調整方法 2025年 1月 9日
特許 7611041 DCRガス用吸光分析装置、DCRガス用吸光分析方法、及び、DCRガス用吸光分析プログラム 2025年 1月 9日
特許 7611055 エッチング方法 2025年 1月 9日
特許 7611092 プラズマ処理装置 2025年 1月 9日
特許 7611127 上部電極及びプラズマ処理装置 2025年 1月 9日
特許 7611274 膜厚分析方法、膜厚分析装置及び記憶媒体 2025年 1月 9日
特許 7611350 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 1月 9日
特許 7611449 プラズマ処理装置及び上部アセンブリ 2025年 1月 9日
特許 7611456 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2025年 1月 9日
特許 7608898 基板を処理する装置及び基板を搬送する方法 2025年 1月 7日

757 件中 736-750 件を表示

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7612689 7612824 7612922 7612949 7611943 7610939 7611041 7611055 7611092 7611127 7611274 7611350 7611449 7611456 7608898

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