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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第457位 67件 (2023年:第405位 81件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第396位 75件 (2023年:第265位 129件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2024-72887 | 基板処理方法 | 2024年 5月28日 | |
特開 2024-65244 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板処理方法及びプログラム | 2024年 5月15日 | |
特開 2024-65939 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び基板処理プログラム | 2024年 5月15日 | |
特開 2024-61057 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理装置 | 2024年 5月 7日 | |
特開 2024-56978 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板処理方法、プログラム及び真空排気装置 | 2024年 4月23日 | |
特開 2024-49208 | ガス供給体、処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2024年 4月 9日 | |
特開 2024-47020 | 基板処理装置、ガスノズル、半導体装置の製造方法、およびプログラム | 2024年 4月 5日 | |
特開 2024-47208 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理システム、およびプログラム | 2024年 4月 5日 | |
特開 2024-47283 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム、および基板処理装置 | 2024年 4月 5日 | |
特開 2024-47284 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム、および基板処理装置 | 2024年 4月 5日 | |
特開 2024-47289 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2024年 4月 5日 | |
特開 2024-47456 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理システム、およびプログラム | 2024年 4月 5日 | |
特開 2024-45803 | 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2024年 4月 3日 | |
特開 2024-46508 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置 | 2024年 4月 3日 | |
特開 2024-46509 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム、及び基板処理装置 | 2024年 4月 3日 |
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2024-72887 2024-65244 2024-65939 2024-61057 2024-56978 2024-49208 2024-47020 2024-47208 2024-47283 2024-47284 2024-47289 2024-47456 2024-45803 2024-46508 2024-46509
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1月11日(土) -
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1月15日(水) - 東京 千代田区
1月15日(水) -
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1月16日(木) -
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1月17日(金) -
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