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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2021-528571	プラズマベースの堆積のための表面改質深さ制御堆積	2021年10月21日
特表 2021-528854	基板処理システムのモデルベースの制御	2021年10月21日
特表 2021-528857	金属酸化物膜を除去するための温度制御システムおよびその方法	2021年10月21日
特表 2021-528865	有機材料上に金属酸化物膜を堆積するための堆積ツールおよび方法	2021年10月21日
特開 2021-168409	正面開口式リングポッド	2021年10月21日
特表 2021-527952	高アスペクト比構造の効率的な洗浄およびエッチング	2021年10月14日
特開 2021-165842	蒸着金属酸化物含有ハードマスクのＥＵＶフォトパターニング	2021年10月14日
特表 2021-527379	基板処理システムのための直接駆動ＲＦ回路	2021年10月11日
特開 2021-158379	高温基板台座モジュール及びその構成要素	2021年10月 7日
特開 2021-158386	マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のＲＦ活性化方法	2021年10月 7日
特開 2021-153197	付加製造されたガス分配マニホールド	2021年 9月30日
特開 2021-153202	冷却ガス区画および対応する溝ならびに単極静電クランプ電極パターンを備える静電チャック	2021年 9月30日
特表 2021-525947	プラズマ処理ツールにおける画像に基づくプラズマシースプロファイル検出	2021年 9月27日
特表 2021-524667	静電チャックフィルターボックスおよび取付けブラケット	2021年 9月13日
特開 2021-132225	ウエハ裏面における堆積の低減のための可変温度ハードウェアおよび方法	2021年 9月 9日

108 件中 31-45 件を表示

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2021-528571 2021-528854 2021-528857 2021-528865 2021-168409 2021-527952 2021-165842 2021-527379 2021-158379 2021-158386 2021-153197 2021-153202 2021-525947 2021-524667 2021-132225

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