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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2021年特許取得件数ランキング　　　第407位　63件（2020年：第614位　36件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2021-532271	半導体基板処理におけるペデスタルへの蒸着の防止	2021年11月25日
特表 2021-532548	小型高密度プラズマ供給源	2021年11月25日
特表 2021-532573	電子励起原子層エッチング	2021年11月25日
特表 2021-532574	高アスペクト比の誘電体エッチングを達成するための３つ以上の状態	2021年11月25日
特表 2021-532581	ガス分配器および流量検証器	2021年11月25日
特表 2021-532601	トリムプロセスに対する限界寸法の変化の改善をもたらすチャンバおよびプロセスの補償	2021年11月25日
特表 2021-531410	プラズマ処理チャンバ構成要素のための表面コーティング	2021年11月18日
特表 2021-531650	プラズマチャンバ内温度のリアルタイム制御	2021年11月18日
特表 2021-530852	プラズマソース用の磁気シールド	2021年11月11日
特表 2021-530866	制御されたエッチングのための単一エネルギイオン生成	2021年11月11日
特表 2021-530099	径方向エッチング均一性の能動制御	2021年11月 4日
特表 2021-530109	基板処理システムにおける基板支持体の動的温度制御	2021年11月 4日
特表 2021-529435	ライナの不動態化および接着性改善のための金属ライナのジンケート処理およびドーピング	2021年10月28日
特開 2021-170663	可動エッジリング設計	2021年10月28日
特開 2021-170671	半導体処理装置においてシャワーヘッド傾斜を動的に調整するためのアクチュエータ	2021年10月28日

108 件中 16-30 件を表示

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2021-532271 2021-532548 2021-532573 2021-532574 2021-532581 2021-532601 2021-531410 2021-531650 2021-530852 2021-530866 2021-530099 2021-530109 2021-529435 2021-170663 2021-170671

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