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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2016年 出願公開件数ランキング    第354位 106件 上昇2015年:第475位 70件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第493位 56件 下降2015年:第385位 67件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-100445 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2016年 5月30日
特開 2016-96204 出力調整方法及び電子線描画装置 2016年 5月26日
特開 2016-96251 レジスト評価方法及び電子ビーム描画方法 2016年 5月26日
特開 2016-96270 マルチ荷電粒子ビーム用のブランキングシステム及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2016年 5月26日
特開 2016-89239 気相成長方法および気相成長装置 2016年 5月23日
特開 2016-89240 気相成長装置、貯留容器および気相成長方法 2016年 5月23日
特開 2016-92311 気相成長装置および気相成長方法 2016年 5月23日
特開 2016-86100 気相成長装置および気相成長方法 2016年 5月19日
特開 2016-80374 保持装置、検査装置および検査方法 2016年 5月16日
特開 2016-80590 放射温度計及び温度測定方法 2016年 5月16日
特開 2016-81945 気相成長装置および気相成長方法 2016年 5月16日
特開 2016-82106 マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2016年 5月16日
特開 2016-82117 レジスト膜の形成方法および描画方法 2016年 5月16日
特開 2016-82131 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビームを用いた描画方法、および荷電粒子ビーム描画でのショット補正方法 2016年 5月16日
特開 2016-82147 描画データ検証方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2016年 5月16日

107 件中 61-75 件を表示

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2016-100445 2016-96204 2016-96251 2016-96270 2016-89239 2016-89240 2016-92311 2016-86100 2016-80374 2016-80590 2016-81945 2016-82106 2016-82117 2016-82131 2016-82147

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