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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第354位 106件
(2015年:第475位 70件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第493位 56件
(2015年:第385位 67件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2016-100445 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年 5月30日 | |
特開 2016-96204 | 出力調整方法及び電子線描画装置 | 2016年 5月26日 | |
特開 2016-96251 | レジスト評価方法及び電子ビーム描画方法 | 2016年 5月26日 | |
特開 2016-96270 | マルチ荷電粒子ビーム用のブランキングシステム及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2016年 5月26日 | |
特開 2016-89239 | 気相成長方法および気相成長装置 | 2016年 5月23日 | |
特開 2016-89240 | 気相成長装置、貯留容器および気相成長方法 | 2016年 5月23日 | |
特開 2016-92311 | 気相成長装置および気相成長方法 | 2016年 5月23日 | |
特開 2016-86100 | 気相成長装置および気相成長方法 | 2016年 5月19日 | |
特開 2016-80374 | 保持装置、検査装置および検査方法 | 2016年 5月16日 | |
特開 2016-80590 | 放射温度計及び温度測定方法 | 2016年 5月16日 | |
特開 2016-81945 | 気相成長装置および気相成長方法 | 2016年 5月16日 | |
特開 2016-82106 | マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2016年 5月16日 | |
特開 2016-82117 | レジスト膜の形成方法および描画方法 | 2016年 5月16日 | |
特開 2016-82131 | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビームを用いた描画方法、および荷電粒子ビーム描画でのショット補正方法 | 2016年 5月16日 | |
特開 2016-82147 | 描画データ検証方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2016年 5月16日 |
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2016-100445 2016-96204 2016-96251 2016-96270 2016-89239 2016-89240 2016-92311 2016-86100 2016-80374 2016-80590 2016-81945 2016-82106 2016-82117 2016-82131 2016-82147
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